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片材切割方法技术
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文档序号:3182021
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一种片材切割方法,其中,在将所述片材(S)粘到半导体晶片(W)后,根据半导体晶片(W)的形状,通过刀片(12)切割具有从半导体晶片(W)的外围伸出的尺寸的片材(S)。在这种切割方法种,以使刀片(S)不从半导体晶片(W)伸出而将刀片(12B)...
该专利属于琳得科株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过琳得科株式会社授权不得商用。
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