下载用于低功率应用的电可编程集成熔丝装置和构造方法的技术资料

文档序号:3181939

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本发明提供用于小功率应用的电可编程集成熔丝。集成熔丝器件具有堆叠结构,该结构具有多晶硅层和形成于多晶硅层上的导电层。集成熔丝具有的结构特征使得能够用低编程电流/电压对熔丝进行可靠且高效的编程,同时实现熔断位置的一致性。例如,形成具有变化厚度...
该专利属于三星电子株式会社;因菲尼奥恩技术北美公司所有,仅供学习研究参考,未经过三星电子株式会社;因菲尼奥恩技术北美公司授权不得商用。

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