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本发明提供用于小功率应用的电可编程集成熔丝。集成熔丝器件具有堆叠结构,该结构具有多晶硅层和形成于多晶硅层上的导电层。集成熔丝具有的结构特征使得能够用低编程电流/电压对熔丝进行可靠且高效的编程,同时实现熔断位置的一致性。例如,形成具有变化厚度...该专利属于三星电子株式会社;因菲尼奥恩技术北美公司所有,仅供学习研究参考,未经过三星电子株式会社;因菲尼奥恩技术北美公司授权不得商用。
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本发明提供用于小功率应用的电可编程集成熔丝。集成熔丝器件具有堆叠结构,该结构具有多晶硅层和形成于多晶硅层上的导电层。集成熔丝具有的结构特征使得能够用低编程电流/电压对熔丝进行可靠且高效的编程,同时实现熔断位置的一致性。例如,形成具有变化厚度...