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一种结合压印技术制备各向异性有机场效应管的方法技术
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文档序号:3181279
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本发明属于有机半导体学中的微细加工领域,特别涉及一种结合压印技术制备各向异性有机场效应管的方法。其步骤如下:1.在导电基底上制备绝缘介质层;2.在绝缘介质层薄膜表面上沉积生长第一层有机半导体薄膜;3.利用模板压印有机薄膜,把设计的模板图形转...
该专利属于中国科学院微电子研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院微电子研究所授权不得商用。
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