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栅体通过反偏肖特基结连接SOI动态阈值晶体管的方法技术
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文档序号:3181010
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本发明涉及半导体器件技术领域,特别是栅体通过反偏肖特基结连接SOI动态阈值晶体管的方法。包括:SOI衬底(3);形成在SOI顶层硅膜(1)内的晶体管,其中所述晶体管包括栅电极(55),栅氧化层(51),漏电极(52),源电极(53)(源漏可...
该专利属于中国科学院微电子研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院微电子研究所授权不得商用。
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