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本发明涉及一种制造程序异常运作检测方法，包括以下步骤：（ａ）检测程序机构所产生的至少一个声音信号；（ｂ）转换上述声音信号至一个频谱；（ｃ）比较上述频谱与一个既定频谱；以及（ｄ）如果上述频谱的第一频率振幅大体不同于上述既定频谱相同频率的振幅，...
该专利属于台湾积体电路制造股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过台湾积体电路制造股份有限公司授权不得商用。

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