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本发明提供一种半导体工艺设备，包括工艺腔室、控制器和设置在工艺腔室中的承载盘，承载盘上设置有用于托举晶圆的晶圆托举机构，工艺腔室顶部设置有多个距离监测装置，用于分别监测承载盘上的晶圆与自身之间的距离。控制器用于在晶圆托举机构托举起晶圆的过程...
该专利属于北京北方华创微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方华创微电子装备有限公司授权不得商用。

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