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一种选择性应变MOS元件,其中该MOS元件可为由一组NMOS元件以及PMOS元件所组成的选择性应变PMOS元件,且其不影响NMOS元件上的应变。其形成方法包括提供半导体基材,其中半导体基材包括底半导体层、配置于该底半导体层上的绝缘层以及配置...该专利属于台湾积体电路制造股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过台湾积体电路制造股份有限公司授权不得商用。
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一种选择性应变MOS元件,其中该MOS元件可为由一组NMOS元件以及PMOS元件所组成的选择性应变PMOS元件,且其不影响NMOS元件上的应变。其形成方法包括提供半导体基材,其中半导体基材包括底半导体层、配置于该底半导体层上的绝缘层以及配置...