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本发明提供了低温沉积具有改善的阶梯覆盖的无定型碳膜的方法。在一种实施方式中，该方法包括：在处理室中提供衬底；使包含至少烃化合物和惰性气体的气体混合物流入所述处理室，其中所述烃化合物具有大于５个碳原子；将所述衬底保持在低于４５０℃的温度下；将...
该专利属于应用材料公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料公司授权不得商用。

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