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三维存储结构制造技术
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文档序号:31790344
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本申请提供了一种三维存储结构。该三维存储结构包括:衬底,包括第一功能区;第一导电结构,设置于所述衬底上并与所述第一功能区电连接,用于实现所述三维存储结构的使用功能;第一垂直互连通道,电连接地设置于所述第一导电结构上;第二垂直互连通道,与所述...
该专利属于长江存储科技有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过长江存储科技有限责任公司授权不得商用。
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