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半导体器件及其制造方法技术
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文档序号:3179029
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本发明的一个形态的半导体器件,具备:在支持衬底的主面上隔着绝缘膜形成的半导体膜内,具有隔着栅极绝缘膜形成的栅极电极膜,和形成为在栅极长度方向上夹持上述栅极电极膜的源区及漏区的绝缘栅场效应晶体管;在贯通上述半导体膜和上述绝缘膜而达到上述支持衬...
该专利属于株式会社东芝所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社东芝授权不得商用。
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