下载制造UV辐射检测器器件的方法以及UV辐射检测器器件的技术资料

文档序号:31787065

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本公开的实施例涉及制造UV辐射检测器器件的方法以及UV辐射检测器器件。用于检测UV辐射的器件,包括:具有N掺杂的SiC衬底;具有N掺杂的SiC漂移层,SiC漂移层在衬底之上延伸;阴极端子;以及阳极端子。阳极端子包括:具有P掺杂的掺杂阳极区,...
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