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本实用新型提出了一种半导体用高纯石英材料制备设备，包括设备本体和与设备本体连通设置的排气口，其特征在于，所述排气口横截面为圆形，所述排气口内固定设置有导流组件，所述导流组件包括外侧的导流筒，所述导流筒固定设置在排气口内部，所述导流筒的外侧与...
该专利属于江苏艾匹克半导体设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏艾匹克半导体设备有限公司授权不得商用。

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