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本发明公开了一种举升装置及调整举升装置平面度的方法，包括驱动装置，驱动装置连接有升降架，升降架上设有升针装置，驱动装置通过升降架及升针装置带动升针做直线往复运动，升针装置包括升针装置套筒，升针装置套筒内设有导杆，导杆可在升针装置套筒内滑动，...该专利属于北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司授权不得商用。