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本发明公开了一种可编程非易失性存储单元结构,包括:金属层、接触孔、阻挡层和多晶硅,金属层、接触孔、阻挡层和多晶硅依次连接形成电容结构,阻挡层为该电容结构的介质层。同时还公开了一种可编程非易失性存储单元结构的设计方法,包括:将多晶硅淀积在场区...该专利属于北京芯技佳易微电子科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过北京芯技佳易微电子科技有限公司授权不得商用。
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本发明公开了一种可编程非易失性存储单元结构,包括:金属层、接触孔、阻挡层和多晶硅,金属层、接触孔、阻挡层和多晶硅依次连接形成电容结构,阻挡层为该电容结构的介质层。同时还公开了一种可编程非易失性存储单元结构的设计方法,包括:将多晶硅淀积在场区...