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本发明提供将作为前馈控制时的控制值的目标值优化的基板处理装置的控制装置和控制方法。ＴＬ（８００）对ＰＭ（４００）进行前馈控制和反馈控制。存储部（８５０）存储有表示不同的处理顺序的多个工艺方案和作为蚀刻处理时的控制值的目标值。通信部（８５５）...
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