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本实用新型是水平式晶圆电化学沉积设备电化学沉积槽搅拌机构,其特征包括搅拌风叶和马达,搅拌风叶位于安装在机架上的沉积槽内的均匀性孔板上方且由同步齿轮组传动连接,同步齿轮组位于沉积槽中部环形的安装板向内圆心侧的延伸部上且与位于安装板上部的内定齿...该专利属于无锡吉智芯半导体科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过无锡吉智芯半导体科技有限公司授权不得商用。
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本实用新型是水平式晶圆电化学沉积设备电化学沉积槽搅拌机构,其特征包括搅拌风叶和马达,搅拌风叶位于安装在机架上的沉积槽内的均匀性孔板上方且由同步齿轮组传动连接,同步齿轮组位于沉积槽中部环形的安装板向内圆心侧的延伸部上且与位于安装板上部的内定齿...