下载定位载物台、使用该定位载物台的凸瘤形成装置和凸瘤形成方法的技术资料

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提供一种能够防止强制力作用于定好位的晶片的定位载物台、使用该定位载物台的凸瘤形成装置和凸瘤形成方法。把晶片(2)靠押在定位构件(28)上的靠押构件(26),具有大体斜对晶片载置面(24a)的靠接面(26s);靠接面(26s)靠接在晶片(2)...
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