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定位载物台、使用该定位载物台的凸瘤形成装置和凸瘤形成方法制造方法及图纸
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下载定位载物台、使用该定位载物台的凸瘤形成装置和凸瘤形成方法的技术资料
文档序号:3176908
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提供一种能够防止强制力作用于定好位的晶片的定位载物台、使用该定位载物台的凸瘤形成装置和凸瘤形成方法。把晶片(2)靠押在定位构件(28)上的靠押构件(26),具有大体斜对晶片载置面(24a)的靠接面(26s);靠接面(26s)靠接在晶片(2)...
该专利属于株式会社村田制作所所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社村田制作所授权不得商用。
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