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形成单元标识的方法、具有单元标识的显示基板和设备技术
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下载形成单元标识的方法、具有单元标识的显示基板和设备的技术资料
文档序号:3176774
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一种单元标识形成方法,包括:在基板上形成金属层;在金属层上涂覆光致抗蚀材料,以形成光致抗蚀膜;通过包括与单元标识图案相对应的阻光图案的掩模来对光致抗蚀膜进行曝光;对曝光的光致抗蚀膜进行显影;使用显影的光致抗蚀膜来蚀刻金属层,以形成包括单元标...
该专利属于三星电子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三星电子株式会社授权不得商用。
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