下载半导体装置的技术资料

文档序号:31765780

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一种半导体装置,包括势垒层、介电层、第一间隔件、第二间隔件以及栅极。介电层其安置于势垒层上并且界定第一凹部。第一间隔件安置于第一凹部内。第二间隔件安置于第一凹部内,并与第一间隔件分隔开,其中势垒层包括介于第一间隔件与第二间隔件之间的第二凹部...
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