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一种控制装置，对基板处理装置进行控制，该基板处理装置包括对基板进行规定处理的多个处理室和搬送所述基板的搬送机构，其特征在于，包括：　　　　选择部，选择接下来应该搬送到的处理室，并且根据每批次所要求的微细加工的程度，针对每个批次选择使搬送到同...
该专利属于东京毅力科创株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过东京毅力科创株式会社授权不得商用。

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