下载采用抬高的源极漏极和替代金属栅极的互补型金属氧化物半导体集成电路的技术资料

文档序号:3175767

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本发明涉及一种互补型金属氧化物半导体集成电路,其可以形成有PMOS器件,而该PMOS器件可利用替代金属栅极及抬高的源极漏极形成。抬高的源极漏极可以由掺杂了P型的外延沉积锗硅材料形成。替代金属栅极过程产生了金属栅电极,并且可能会涉及到氮化物蚀...
该专利属于英特尔公司所有,仅供学习研究参考,未经过英特尔公司授权不得商用。

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