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本发明提供一种能够利用搬送装置高精度地将基板搬送到处理腔室内的规定位置的基板处理装置和基板处理方法。所述基板处理装置包括：容纳基板载置台并对其基板载置台上的基板实施规定处理的处理腔室、检测处理腔室的温度的温度传感器、和相对处理腔室内的所述基...
该专利属于东京毅力科创株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过东京毅力科创株式会社授权不得商用。

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