下载薄片粘贴用工作台的技术资料

文档序号:3175092

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一种将粘接片(S)粘贴到半导体晶片(W)的上面时所使用的工作台(13),该工作台(13)由外侧工作台(51)和内侧工作台(52)所构成。外侧工作台(51)和内侧工作台(52),被设置成可分别通过单轴机器人(54、56)升降,同时,内侧工作台...
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