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本发明公开了一种静电卡盘装置，用于支撑和固定晶片，包括基座、设于基座上表面的绝缘层以及设于绝缘层下基座中的电极，该绝缘层包括与晶片接触凸起的圆形环状接触面；凸起的圆形环状接触面的面积占绝缘层上表面面积的０．５％～５０％。电极的形状及分布分别...该专利属于北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司授权不得商用。