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本发明公开了一种铁电存储器件及其形成方法。该铁电存储器件的形成包括：在具有导电区的衬底上形成绝缘层；在该绝缘层上形成电连接到该导电区的底部电极；对该绝缘层进行挖槽；以及在该挖槽的绝缘层上形成用于覆盖该底部电极的铁电层和上部电极层。该底部电极...
该专利属于三星电子株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过三星电子株式会社授权不得商用。

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