下载改善太阳能电池扩散的方法的技术资料

文档序号:3173804

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本发明公开了一种改善太阳能电池扩散的方法,其步骤是:A.采用硅原料、导电类型P型;B.扩散:硅片在高温中与氧气,三氯氧磷发生化学反应,生成磷、五氯化磷、五氧化二磷、氯气;C.通氧再分布:再通入氧气与未消耗完的PCl↓[5]继续反应生成磷:D...
该专利属于珈伟太阳能(武汉)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过珈伟太阳能(武汉)有限公司授权不得商用。

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