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具有三维排列的存储单元晶体管的与非型闪存器件制造技术
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下载具有三维排列的存储单元晶体管的与非型闪存器件的技术资料
文档序号:3172694
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本发明涉及一种NAND型闪存器件,其包括:堆叠的多个半导体层;设置在多个半导体层中的每一个的预定区中的器件隔离图案,该器件隔离图案定义有源区;该有源区中的源极和漏极杂质区;电连接所述源极杂质区的源极线插塞结构;及电连接所述漏极杂质区的位线插...
该专利属于三星电子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三星电子株式会社授权不得商用。
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