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本发明提供即使在被检查体和探针卡一并接触的情况下也能够直接把握载置台是否达到过激励量的检查装置。本发明的检查装置（１０）具有载置台（１１）、探针卡（１２）和控制装置（１４），在控制装置（１４）的控制下，使载置台（１１）过激励，使晶片（Ｗ）与...
该专利属于东京毅力科创株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过东京毅力科创株式会社授权不得商用。

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