下载一种三角形焊接型靶材组件及其制备方法的技术资料

文档序号:31718933

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本发明提供一种三角形焊接型靶材组件及其制备方法,所述制备方法包括以下步骤:(1)制备三角形靶材和具有对应三角形凹槽的背板;(2)组装三角形靶材和背板,经过热等静压焊接后,得到中间组件;(3)将中间组件进行后处理,得到三角形焊接型靶材组件;其...
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