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本发明提供一种闪存结构及其制造方法,其在一半导体基底表面利用介电间隙物来形成一P型多晶硅层做为浮动栅极;再于其上形成一绝缘介电层及一控制栅极,且该控制栅极覆盖该P型浮动栅极,以完成一闪存组件的构造。本发明能降低费米能级,维持电性的质量的条件...该专利属于上海宏力半导体制造有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海宏力半导体制造有限公司授权不得商用。
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本发明提供一种闪存结构及其制造方法,其在一半导体基底表面利用介电间隙物来形成一P型多晶硅层做为浮动栅极;再于其上形成一绝缘介电层及一控制栅极,且该控制栅极覆盖该P型浮动栅极,以完成一闪存组件的构造。本发明能降低费米能级,维持电性的质量的条件...