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本发明提供一种合金高纯铜靶材的制备方法，所述制备方法包括对坯料依次进行的第一锻伸处理、第一热处理、第二锻伸处理、第二热处理、第三锻伸处理、第四锻伸处理、静压处理、压延处理以及第四热处理。所述制备方法可以减少，合金高纯铜靶坯内部缺陷，细化内部...
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