下载半导体结构、尤其具有均一高度加热体的相变存储器件的技术资料

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一种由多个具有在自身的加热体(26)上方延伸的硫属化物存储区(28)的相变存储器件形成的相变存储器。该加热体(26)全部具有较均一的高度。该高度均一是通过在绝缘体中的孔内部形成加热体实现的,该绝缘体包括蚀刻停止层(18)和牺牲层(24)。该...
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