下载半导体装置及半导体装置的制造方法的技术资料

文档序号:31609823

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

提供一种半导体装置及半导体装置的制造方法。一种半导体装置包括:层叠结构,其具有彼此交替层叠的导电层和绝缘层;绝缘柱,其穿过层叠结构;第一沟道图案,其围绕绝缘柱的侧壁;第二沟道图案,其围绕绝缘柱的侧壁;第一绝缘体,其形成在第一沟道图案和第二沟...
该专利属于爱思开海力士有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过爱思开海力士有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。