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本实用新型公开了一种静电吸盘及静电吸盘的温控系统，包括：主体，所述主体具有相背设置的的吸附面和开孔面，所述吸附面用于吸附晶圆；多个入流孔，多个所述入流孔开设于所述开孔面上，用于将冷却剂注入所述主体内；多个出流孔，多个所述出流孔开设于所述开孔...
该专利属于长江存储科技有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过长江存储科技有限责任公司授权不得商用。

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