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本申请实施例公开了冷却装置及湿法刻蚀设备，所述冷却装置包括槽体，所述槽体包括第一底板和绕设于所述第一底板外周的侧板，所述第一底板与所述侧板连接并形成用于放置液体的第一容纳腔，所述第一底板包括第一部分和连接所述第一部分的第二部分，所述第一部分...
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