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本发明提供了一种可见光辅助金刚石化学机械抛光方法，属于超硬材料超精密加工领域。抛光液由磨料、氧化剂、可见光光催化剂、去离子水构成。在可见光光源照射下，使用抛光液对金刚石进行化学机械抛光，可见光光源置于抛光盘正上方10
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该专利属于大连理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过大连理工大学授权不得商用。

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