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本发明涉及一种对金属微尖如钼、钨等微尖阵列制备方法的改进。在金属基底上经溅射、光刻、腐蚀抗蚀层形成圆形抗蚀层图形阵列，腐蚀金属基底形成带有抗蚀层帽的金属微尖原坯及取出、溅射绝缘层和栅极金属后，在原溶液中继续腐蚀至形成尖锐的金属微尖冷阴极。本...
该专利属于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院长春光学精密机械与物理研究所授权不得商用。

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