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本发明揭露一种用于反应腔中的晶圆承载组件，其包含：一加热板，固接有用于站立在反应腔底部的复数个支撑脚；一顶针托盘，垂直升降于该加热板下方，且固接有垂直升降于该加热板上方的复数个顶针，该顶针托盘配置成和一机械手臂的一手指互动而升降于该加热盘的...
该专利属于拓荆科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过拓荆科技股份有限公司授权不得商用。

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