温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供了一种衬底传送装置及衬底传送方法，定位底座、定位杆和抓取装置，其中，底座位于本装置的下部，定位杆的一端与定位底座连接，定位杆的另一端与抓取装置连接。本发明一种具有取片功能的取片装置，在薄膜沉积结束后，可直接用该工具取送晶圆托盘，不...
该专利属于拓荆科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过拓荆科技股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。