下载具有低K介质层的等离子显示板的技术资料

文档序号:3155364

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一种包括低k介质层的等离子显示板。在一个实施例中,该介质层包括掺杂氟的氧化硅层,例如SiOF层。在另一个实施例中,该介质层包括层。在某些实施例中,在该介质层上淀积覆盖层例如SiN或者SiON。...
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