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电极板（２６）构造为结合到等离子体处理系统中的电极（２８）。该电极板（２６）包括构造为容纳气体喷射装置（１１０）的多个气体喷射孔（１００）。该电极板包括三个或更多安装孔（１４０），其中该电极板构造为通过使三个或更多安装孔与装到电极上的三个或...
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