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本申请公开一种半导体工艺设备数据采集系统和方法，其中，上述系统包括设备数据采集EDA服务器、EDA终端和安装有集簇设备控制程序CTC的半导体工艺设备；EDA终端基于用户的操作生成数据采集计划DCP，并将DCP和激活指令发送至EDA服务器；E...
该专利属于北京北方华创微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方华创微电子装备有限公司授权不得商用。

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