半导体工艺设备数据采集系统和方法技术方案

本申请公开一种半导体工艺设备数据采集系统和方法，其中，上述系统包括设备数据采集EDA服务器、EDA终端和安装有集簇设备控制程序CTC的半导体工艺设备；EDA终端基于用户的操作生成数据采集计划DCP，并将DCP和激活指令发送至EDA服务器；EDA服务器采用所述激活指令激活所述DCP，基于DCP确定其对应的半导体工艺设备和采集数据目标，并将采集数据目标发送至DCP对应的半导体工艺设备；半导体工艺设备中的CTC用于根据采集数据目标采集设备数据，将采集到的设备数据转换为比特字节流，并将比特字节流发送至EDA服务器。本申请能够提高设备数据采集过程中的数据传输速率，改善数据传输性能。能。能。

【技术实现步骤摘要】
半导体工艺设备数据采集系统和方法


[0001]本申请涉及半导体装备
，具体涉及一种半导体工艺设备数据采集系统和方法。

技术介绍

[0002]基于SEMI InterfaceA标准的EDA(Equipment Data Acquisition，设备数据采集)项目采用的是WCF(Windows Communication Foundation，Windows通信基础)通信，绑定协议使用的是NetTCPBinding协议(通过TCP协议进行通信)。WCF(Windows Communication Foundation，Windows通信基础)是基于Windows平台下开发和部署服务的SDK，是由微软开发的一系列支持数据通信的应用程序框架，整合了原有的windows通讯的.net Remoting、WebService、Socket的机制，并融合有HTTP和FTP的相关技术。其统一的程序开发模型，几乎有.NET Framework提供的所有的通信方法，对于数据通信提供了最基本最有弹性的支持，是Windows平台上开发分布式应用最佳的实践方式。
[0003]EDA项目可以包括设备数据采集EDA服务器、EDA终端和至少一个半导体工艺设备，各个半导体工艺设备上均安装有集簇设备控制程序CTC，其中EDA服务器从半导体工艺设备采集所需数据时，通常采用对象传递数据，例如：如果有一个字符串String类型的数据值为“我是最新String类型的数据”需要从半导体工艺设备中的CTC传输至EDA服务器，那么CTC将直接将String类型的数据值反馈至EDA服务器，EDA服务器直接接收到String类型的数据。这一数据采集过程容易导致数据传输效率低。

技术实现思路

[0004]鉴于此，本申请提供一种半导体工艺设备数据采集系统和方法，以解决采用对象传送容易导致数据传输效率低的问题。
[0005]本申请提供一种半导体工艺设备数据采集系统，包括设备数据采集EDA服务器、至少一个EDA终端和至少一个半导体工艺设备，所述至少一个半导体工艺设备上均安装有集簇设备控制程序CTC；
[0006]所述EDA终端用于基于用户的操作生成数据采集计划DCP，并将所述DCP和所述DCP对应的激活指令发送至所述EDA服务器；
[0007]所述EDA服务器用于采用所述激活指令激活所述DCP，基于所述DCP确定其对应的半导体工艺设备和采集数据目标，并将所述采集数据目标发送至所述DCP对应的半导体工艺设备；
[0008]所述半导体工艺设备中的所述CTC用于根据所述采集数据目标采集设备数据，将采集到的所述设备数据转换为比特字节流，并将所述比特字节流发送至所述EDA服务器。
[0009]可选地，所述CTC用于将所述设备数据组织为数据对象，再基于预设的数据转换动态库将所述数据对象转换为所述比特字节流。
[0010]可选地，所述EDA服务器还用于基于预设的所述数据转换动态库将比特字节流转
换为所述数据对象。
[0011]可选地，所述数据转换动态库包括对象数据类型和对象数据转换类；
[0012]所述对象数据类型枚举有所述数据对象的数据类型；
[0013]所述对象数据转换类可将各个数据类型的数据对象转换为比特字节流以及将比特字节流转换为不同数据类型的数据对象的数据转换方法和多个用于所述数据转换方法中的属性字段。
[0014]可选地，所述数据类型包括以下类型中的至少一种：无符号整数、有符号整数、布尔型变量、二进制、单精度浮点型、双精度浮点型、字符串、枚举类型、列表和任意类型。
[0015]可选地，所述属性字段包括：表征所述数据对象是否为数组类型的标志；表征取所述数据类型中一种类型的取值标志；和/或，所述数据对象所存储的值；
[0016]所述数据转换方法包括：用于将所述设备数据组织为所述数据对象的创建函数；用于将所述数据对象转换为所述比特字节流的写函数；用于将所述比特字节流转换为所述数据对象的读函数；用于判断所述数据对象是否为列表的列表格式判断函数；用于获取所述数据对象中指定索引处的数据值的索引函数；和/或，至少一个用于在组织所述数据对象时初始化所述数据对象的构造函数。
[0017]本申请还提供一种半导体工艺设备数据采集方法，包括：
[0018]EDA终端基于用户的操作生成数据采集计划DCP，并将所述DCP和所述DCP对应的激活指令发送至所述EDA服务器；
[0019]所述EDA服务器采用所述激活指令激活所述DCP，基于所述DCP确定其对应的半导体工艺设备和采集数据目标，并将所述采集数据目标发送至所述DCP对应的半导体工艺设备；
[0020]所述半导体工艺设备上安装的集簇设备控制程序CTC根据所述采集数据目标采集设备数据，将采集到的所述设备数据转换为比特字节流，并将所述比特字节流发送至所述EDA服务器。
[0021]可选地，所述将采集到的所述设备数据转换为比特字节流包括：
[0022]将所述设备数据组织为数据对象，再基于预设的数据转换动态库将所述数据对象转换为所述比特字节流。
[0023]可选地，上述半导体工艺设备数据采集方法，还包括：
[0024]所述EDA服务器基于预设的所述数据转换动态库将比特字节流转换为所述数据对象。
[0025]可选地，所述数据转换动态库包括对象数据类型和对象数据转换类；
[0026]所述对象数据类型枚举有所述数据对象的数据类型；
[0027]所述对象数据转换类可将各个数据类型的数据对象转换为比特字节流以及将比特字节流转换为不同数据类型的数据对象的数据转换方法和多个用于所述数据转换方法中的属性字段。
[0028]上述半导体工艺设备数据采集系统和方法中，CTC可以将采集到的设备数据转换为比特字节流，向EDA服务器传输该比特字节流，可以提高半导体工艺设备向EDA服务器传输设备数据的效率，减轻数据传输过程分别对半导体工艺设备和EDA服务器的CPU造成的压力，提高各端CPU性能，提升相应半导体工艺设备数据采集系统的数据采集能力。
[0029]此外，CTC还可以将设备数据组织为数据对象，再基于数据转换动态库将数据对象转换为比特字节流进行传输，使EDA服务器基于上述数据转换动态库将比特字节流转换为数据对象，以获取设备数据，可以提高对应数据传输过程中点的安全性，从而提高相应半导体工艺设备数据采集系统的安全性能。
附图说明
[0030]为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0031]图1a是EDA项目对应的系统结构图；
[0032]图1b是现有方案的对象传输示意图；
[0033]图2是本申请一实施例的半导体工艺设备数据采集系统结构示意图；
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种半导体工艺设备数据采集系统，其特征在于，包括设备数据采集EDA服务器、至少一个EDA终端和至少一个半导体工艺设备，所述至少一个半导体工艺设备上均安装有集簇设备控制程序CTC；所述EDA终端用于基于用户的操作生成数据采集计划DCP，并将所述DCP和所述DCP对应的激活指令发送至所述EDA服务器；所述EDA服务器用于采用所述激活指令激活所述DCP，基于所述DCP确定其对应的半导体工艺设备和采集数据目标，并将所述采集数据目标发送至所述DCP对应的半导体工艺设备；所述半导体工艺设备中的所述CTC用于根据所述采集数据目标采集设备数据，将采集到的所述设备数据转换为比特字节流，并将所述比特字节流发送至所述EDA服务器。2.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述CTC用于将所述设备数据组织为数据对象，再基于预设的数据转换动态库将所述数据对象转换为所述比特字节流。3.根据权利要求2所述的系统，其特征在于，所述EDA服务器还用于基于预设的所述数据转换动态库将比特字节流转换为所述数据对象。4.根据权利要求3所述的系统，其特征在于，所述数据转换动态库包括对象数据类型和对象数据转换类；所述对象数据类型枚举有所述数据对象的数据类型；所述对象数据转换类可将各个数据类型的数据对象转换为比特字节流以及将比特字节流转换为不同数据类型的数据对象的数据转换方法和多个用于所述数据转换方法中的属性字段。5.根据权利要求4所述的系统，其特征在于，所述数据类型包括以下类型中的至少一种：无符号整数、有符号整数、布尔型变量、二进制、单精度浮点型、双精度浮点型、字符串、枚举类型、列表和任意类型。6.根据权利要求5所述的系统，其特征在于，所述属性字段包括：表征所述数据对象是否为数组类型的标志；表征取所述数据类型中一种类型的取...

【专利技术属性】
技术研发人员：柴加加，马宝林，
申请(专利权)人：北京北方华创微电子装备有限公司，
类型：发明
国别省市：