下载体声波谐振装置、滤波装置及射频前端装置的技术资料

文档序号:31505733

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本发明实施例提供一种体声波谐振装置、一种滤波装置及一种射频前端装置,其中,体声波谐振装置包括:第一层,第一层包括空腔;第一电极层,第一电极层的至少一端位于空腔内;压电层,位于第一电极层上,覆盖空腔,压电层包括第一侧及与第一侧垂直方向上相对的...
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