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一种用于离子注入机的离子源，其包括：弧室，用于产生和包含等离子体；阴极，用于发射电子到所述弧室中；安置于所述弧室中使得所述阴极发射的电子被引导到那的电极；一个或一个以上电压电位源，其用于偏压所述电极；以及电压电位调节器，其可操作用于在正向偏...
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