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一种碳纳米管阵列场发射阴极的制备方法技术
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文档序号:3149437
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一种碳纳米管阵列场发射阴极的制备方法,包括以下步骤:在导电基底上沉积氮化物阻挡层,采用金属掩模板掩模或光刻胶掩模,再沉积催化剂层,形成催化剂阵列;然后在火焰中烧1-10分钟,电场退火老化处理后形成稳定的碳纳米管阵列场发射阴极。...
该专利属于武汉大学所有,仅供学习研究参考,未经过武汉大学授权不得商用。
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