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晶圆、晶圆结构以及晶圆的制造方法技术
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文档序号:31493043
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本申请涉及一种晶圆、晶圆结构以及晶圆的制造方法。其中,该晶圆包括:衬底;堆叠结构,设置在衬底上,并且包括依次叠置的介质层和绝缘层,在介质层中设置有阻挡层;以及键合层,设置在堆叠结构的远离衬底的表面上,其中,在表面设置有至少一个对准标记结构;...
该专利属于长江存储科技有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过长江存储科技有限责任公司授权不得商用。
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