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包括相对低的电阻率的芯的互连导线制造技术
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下载包括相对低的电阻率的芯的互连导线的技术资料
文档序号:31489955
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本发明描述了一种电介质层和形成所述电介质层的方法。在电介质层中限定了开口,并且在所述开口内沉积了导线,其中,所述导线包括被护套材料包围的芯材料,其中,所述护套材料呈现出第一电阻率ρ1,并且所述芯材料呈现出第二电阻率ρ2,并且ρ2小于ρ1。并...
该专利属于英特尔公司所有,仅供学习研究参考,未经过英特尔公司授权不得商用。
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