下载体声波谐振装置、滤波装置及射频前端装置的技术资料

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本实施提供一种体声波谐振装置、滤波装置及射频前端装置,体声波谐振装置包括:包括空腔的第一层;第一电极层,至少一端位于空腔;压电层,位于第一电极层上,覆盖空腔,包括第一侧及相对的第二侧,第一电极层位于第一侧;第二电极层,位于第二侧,位于压电层...
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