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用于产生平板状等离子体的电子束发生装置属于电子束形成技术领域，其特征在于含有：绝缘板，装有电极和灯丝构成的电极阵列和灯丝阵列；位于绝缘板上方的栅网，在栅网电源作用下，在栅网和热阴极电极之间形成第一电子束；在栅网附近产生等离子体；在引出极电源...
该专利属于清华大学所有，仅供学习研究参考，未经过清华大学授权不得商用。

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